Axcelis Tech

Axcelis Technologies, Inc. Entwickelt, produziert und wartet Geräte für die Ionenimplantation und andere Verarbeitungsgeräte für die Herstellung von Halbleiterchips. Das Unternehmen bietet ein komplettes Sortiment an Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantaten für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Geräten bietet das Unternehmen umfangreiche Produkte und Dienstleistungen für den Aftermarket-Lebenszyklus, einschließlich gebrauchter Werkzeuge, Ersatzteile, Ausrüstungsupgrades, Wartungsservices und Kundenschulungen. Die Purion Vorzeigesysteme basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Reinheit, Präzision und Produktivität des Implantats ermöglicht. Durch die Kombination einer einzelnen Wafer-Endstation mit fortschrittlichen Punktstrahlarchitekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte des Wafers denselben Strahlzustand bei demselben Strahlwinkel sehen) ermöglichen Purion Produkte die Prozesssteuerung, um die Leistung und den Ertrag des Geräts bei hoher Produktivität zu optimieren. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Halbleiterchip-Hersteller auf der ganzen Welt.