Axcelis Tech

Axcelis Technologies Inc diseña, fabrica y presta servicios de implantación de iones y otros equipos de procesamiento utilizados en la fabricación de chips semiconductores. La Empresa ofrece productos y servicios de posventa, como herramientas usadas, piezas de recambio, actualizaciones de equipos, servicios de mantenimiento y formación de clientes. Ofrece una línea completa de implantadores de alta energía, alta corriente y media corriente para todos los requisitos de aplicación. Sus sistemas Purion se basan todos en una plataforma común, que permite combinar pureza del implante, precisión y productividad. Sus sistemas Purion H, Purion Dragon y Purion H200 de haz puntual y alta corriente cubren todos los requisitos de alta corriente. Su sistema de alta energía Purion XE y otros Purion combinan su tecnología de haz puntual de alta energía de radiofrecuencia (RF) Linac con el sistema de manipulación de obleas de la plataforma Purion. La Empresa ofrece el sistema de corriente media Purion M Si y SiC. Sus sistemas Purion M también ofrecen capacidades diferenciadas para aplicaciones especiales.